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威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备镀膜机的设计及改造

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威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备镀膜机的设计及改造

 威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备镀膜室采用立式前开门结构,内腔尺寸:800 mm(直径)×800 mm(长),外壁通冷却水。镀膜机采用分子泵抽气,减少了返油污染,结合力好,无斑点;安装了分别使用30 kW 中频溅射电源和3 kW 多弧电源的非平衡磁控溅射圆柱对靶和多弧圆柱靶;工件夹具采用往复式鼠笼式工件篮,无需挂具,装件量大,可镀制六面体结构的工件;偏压电源使用10 kW直流脉冲电源,可通过调节功率和占空比改变镀膜工艺,提高膜层的附着力;电控采用PLC+ 触摸屏控制系统,整个系统具有泵阀互锁、防爆、互保护功能可实现全自动真空镀膜。图1是镀膜机结构原理示意图。
威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备鼠笼式往复摆线工件篮的结构
 威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备真空镀膜在取代电镀时面临的最大挑战是膜层制备的绕射性。由于真空镀膜是在真空中完成薄膜的制备,膜层的沉积为平行于蒸发源,工件必须面对蒸发源,多采用挂件结构,垂直面的沉积速率即使在绕射性较好的磁控溅射也仅为平行于蒸发源的平面沉积速率的五分之一。此,真空镀膜多适用于平面较多的工件或圆形工件,不能用于结构复杂的工件,这些都大大限制了真空镀膜替代水电镀的应用,减慢了绿色环保的真空镀膜应用的步伐。对于紧固件这种六个面都需要镀膜的工件,通常使用的真空镀膜夹、卡、挂会使工件表面出现未镀膜的盲点,形成酸碱和水汽及氧分子的侵蚀点,形成的侵蚀点会加剧紧固件的腐蚀,因此无法采用真空镀膜常用的夹、卡、挂等方式固定工件。
  为了解决这一难题,本项目研究设计了独特的鼠笼式工件篮,把螺钉螺栓等紧固件装在工件篮内,篮内布有翻转挡板,当鼠笼工件篮摆线往复运动时,紧固件翻转,形成新的面对沉积源的面,多层不停的翻转,从而实现对紧固件每个面均匀镀膜。图2 和图3 分别是工件蓝和工件蓝摆线动作示意图。
威尼斯登录首页厂家真空镀膜设备
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