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真空镀膜设备塑料真空镀膜设备

编辑:威尼斯登录首页  来源:  更新时间:2015-8-6 11:18:30  点击次数:

真空镀膜设备塑料真空镀膜设备

塑料真空镀膜设备的发展相当快,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。以卷绕式威尼斯登录首页为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的最大卷径是1000mm,最大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式威尼斯登录首页镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。效率更高的从大气到大气的卷绕式威尼斯登录首页已于1977年出售。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式威尼斯登录首页正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
卷绕式威尼斯登录首页能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2μm,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。
真空镀膜设备塑料真空镀膜设备该装置的真空室(6)分为上室(7),左下室(8)和右下室(9)。蒸镀时,两组蒸发源(19、23)蒸发的镀膜材料(21、25)分别沉积在塑料薄膜(11)上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器(15、16)。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
真空镀膜设备塑料真空镀膜设备高速低温溅射法发展很快,使高熔点金属如铬、钛、钨、钼等的沉积成膜成为可能。镀膜室直径1400mm,高2200mm的大型钟罩式溅射镀膜机和长13mm,宽7.6mm的大型串列式溅射镀膜机已投入使用。最近,日本专利提出一种卷绕式溅射镀膜机,该机可镀两种不向的镀膜材料,并在第一溅射区和第二溅射区之间装温度控制装置(13),加强对基材的冷却,保证在镀膜层较厚和沉积速度较快的情况下,基材不会发生卷缩和变形。该装置示意图见图1。真空室(1)装有溅射靶(4a,4b)和阳极(14a,14b),两个靶分别与直流电源(5a,5b)相接,对塑料薄膜(8)进行溅射。辊筒(11a,11b,11c))有各自的冷却温度。
真空镀膜设备
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