威尼斯登录首页(中国)有限公司

欢迎光临驰诚真空机械有限企业网站!

关于驰诚 | 网站地图 | English

热门关键词:威尼斯登录首页 真空镀膜设备 威尼斯登录首页厂家

关于驰诚 / ABOUT US

威尼斯登录首页溅镀的原理

编辑:温州驰诚机械设备有限企业  来源:http://www.wzcczk.com/  更新时间:2017-6-27  点击次数:
以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子炮击资料外表,使其溅射出进入气相,可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快,以Cu,Au,Ag等最高,Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子能够直流辉光放电(glow discharge)发生,在10-1—10 Pa真空度,在两极间加高压发生放电,正离子会炮击负电之靶材而溅射也靶材,而镀至被镀物上。
正常辉光放电(glow discharge)的电流密度与阴极物质与形状、气体品种压力等有关。溅镀时应尽也许保持其安稳。任何资料皆可溅射镀膜,即便高熔点资料也简单溅镀,但对非导体靶材须以射频(RF)或脉冲(pulse)溅射;且因导电性较差,溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2,非金属<5W/cm2
二极溅镀射:靶材为阴极,被镀工件及工件架为阳极,气体(氩气Ar)压力约几Pa或更高方可得较高镀率。
磁控溅射:在阴极靶外表构成一正交电磁场,在此区电子密度高,进而进步离子密度,使得溅镀率进步(一个数量级),溅射速度可达0.1—1 um/min膜层附着力较蒸镀佳,是现在最有用的镀膜技能之一。
威尼斯登录首页
关键词:威尼斯登录首页
注:文章内容由温州驰诚机械设备有限企业整理发布 转载请注明http://www.wzcczk.com/
本文链接:http://www.wzcczk.com//html/news/2017-6-27/607.html
上一篇:威尼斯登录首页漏气检修
下一篇:ITO真空镀膜设备生产特点

相关文章

威尼斯登录首页详细镀膜方法-2020-05-04
威尼斯登录首页操作视频-2020-04-27
威尼斯登录首页的工作原理-2020-04-15
威尼斯登录首页大概多少钱一台-2020-04-09
威尼斯登录首页,威尼斯登录首页厂家先容镀膜控制模式波长-2021-10-08
威尼斯登录首页,威尼斯登录首页厂家威尼斯登录首页-威尼斯登录首页-2021-09-29
真空镀膜设备威尼斯登录首页薄膜均匀性概念-2021-09-22
威尼斯登录首页,真空镀膜设备,威尼斯登录首页厂家-2021-09-16
真空镀膜设备威尼斯登录首页常用的真空镀膜材料-2021-09-09
真空镀膜设备厂家驰诚真空镀膜设备使用范围-2021-09-02
真空镀膜设备 威尼斯登录首页溅射靶材-2021-08-26
威尼斯登录首页厂家真空镀膜安全操作规程-2021-08-19
威尼斯登录首页厂家真空镀膜产品的品质监测-2021-08-12
真空镀膜设备磁控溅射镀膜机常见问题-2021-08-05
威尼斯登录首页厂家威尼斯登录首页检漏方法-2021-07-31
版权所有:威尼斯登录首页 Copyright 2015 All Rights Reserved
24小时售后服务电话:400-882-5225  电 话:0577-56615101  

威尼斯登录首页(中国)有限公司
手机:13857753897  传真:0577-56615100  Email:001@ccvacuum.com  地 址: 浙江温州市龙湾区滨海工业园区滨海一路9号

威尼斯登录首页|威尼斯登录首页

XML 地图 | Sitemap 地图